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三維表面測(cè)量?jī)x的工作原理與技術(shù)參數(shù)
三維表面測(cè)量?jī)x
是采用先進(jìn)的自動(dòng)變焦技術(shù)對(duì)物體表面形貌和粗糙度進(jìn)行測(cè)量的儀器。該儀器的工作原理是光學(xué)小景深測(cè)量與精密垂直掃描相結(jié)合。光源所發(fā)出的光線經(jīng)過共軸的分光棱鏡和物鏡,聚焦照射到樣品表面上并發(fā)生反射,所反射光學(xué)信號(hào)經(jīng)由分光棱鏡被信號(hào)傳感器接收。通過連續(xù)的自動(dòng)的垂直掃描技術(shù)以及先進(jìn)的圖像運(yùn)算處理技術(shù),獲得樣品完整的表面三維形貌。
主要技術(shù)參數(shù)
1. 位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
2. 大樣品高度:100mm ~ 345mm
3. 佳水平分辨率:0.44µm
4. 佳垂直分辨率:10nm
5. 測(cè)量速度:170萬個(gè)測(cè)量點(diǎn)/秒
6. 小測(cè)量高度:0.01µm
7. 大測(cè)量高度:22.5mm
8. 大測(cè)量形貌長(zhǎng)度:100mm
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